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评估蓝宝石衬底质量的关键要素：结构与热膨胀匹配：蓝宝石与外延膜晶体结构应接近，热膨胀系数需匹配，以保证良好的结晶性能和器件稳定性1。表面质量：需关注表面粗糙度、缺陷及加工质量，通过二维、···...
蓝宝石衬底主要的性能要求包括高硬度、化学稳定性、高热导率、高光学透明性以及良好的电绝缘性。以下是详细分析：高硬度和耐磨性：蓝宝石的莫氏硬度为9，仅次于金刚石，能抵抗物理磨损和划痕，适用于恶劣环···...
